摩擦副端面平面度為0.0009，普通量具無法檢測，通常利用光波的干涉效應來檢測。

（1）光波的干涉效應

根據波動學原理，兩波產生干涉的條件是：

（a）兩波在相遇點振向一致；

（b）兩波具有相同的頻率；

（c）兩波在相遇點有固定的周相差 。（兩個同樣的鈉光燈不行，只有用同一光源發出的光設法分成兩束，才滿足相干條件）

滿足相干條件的兩束光的疊加效果是：在波程差為波長整數倍的地方，光強度加強；在波程差為半個波長的奇數倍的地方，光強度減至零（變暗）。這就是光的干涉原理。

（2）平面度檢測原理

設入射角i=0，e為氣膜厚度（即是被檢測面上點到平晶的距離），λ為光波波長，δ為光的波程差，那么δ=2e＋λ/2

當δ=kλ時，被檢測面上點變暗；

δ=(2k＋1)λ/2 ，被檢測面上點變亮 ；（其中k=0,1,2,3,4,…，k為整數）

由以上公式可以得出下面結論：

（a）相鄰兩條光帶所對應兩點的氣膜厚度差（高度差）為λ/2，（對于鈉光燈λ=0.589µm，λ/2≈0.3µm）

（b）相鄰兩條光帶寬b=λ/2Sinθ，（θ為空氣膜傾斜角）

（c）當e=0時，δ=λ/2（半波損失），出現暗條紋；

密封端面承載能力與表面粗糙度有很大關系，大約有如下關系：

粗糙度	3.2	0.8	0.4	0.2
承載面積（%）	4	12	40	95
端面比壓增加（倍）	24	7.3	1.5	0.05

由此可以看出，密封端面粗糙度應在0.2以上，否則，端面比壓比理論值高的多，結果是高點接觸，局部壓力很高；由于摩擦副的硬度、剛度的差異，局部高點發熱甚至產生裂紋。石墨環表面磨出細微的環狀溝紋。泵的振動和動、靜環的不同心會加劇這種磨損。被磨掉的顆粒存在于端面中，形成磨粒磨損，磨損加劇，有時在泄漏的介質中可以看到石墨黑漿。